早期事跡
　　蕭至忠早年曾在伊闕縣、洛陽縣擔(dān)任縣尉，后改任監(jiān)察御史。704年（長安四年），蕭至忠因彈劾宰相蘇味道贓貪，被越級(jí)擢升為吏部員外郎。

　　705年（神龍?jiān)辏?，蕭至忠因依附梁王武三思，升任御史中丞。后來，蕭至忠又彈劾祝欽明、竇希玠與李承嘉，改任吏部侍郎，仍兼御史中丞。

擔(dān)任宰相
　　707年（景龍?jiān)辏?，太子李重俊發(fā)動(dòng)兵變，誅殺武三思，但最終兵敗被殺。宰相宗楚客趁機(jī)誣陷相王李旦也參與兵變，唐中宗便命蕭至忠審理。蕭至忠哭訴道：“此前，天后欲立相王為太子，相王數(shù)日不食，請(qǐng)求讓于陛下，其德行天下皆知。如今陛下貴為天子，怎么容不下一個(gè)弟弟呢？而要信人讒言?！碧浦凶谶@才作罷。不久，蕭至忠擔(dān)任中書侍郎、同中書門下平章事，成為宰相。

　　709年（景龍三年），蕭至忠升任侍中，監(jiān)修國史，不久又改任中書令。當(dāng)時(shí)，宰相宗楚客、紀(jì)處訥結(jié)黨營私，韋巨源、楊再思、李嶠只求自保，無所匡正。蕭至忠起初堅(jiān)守本職，受到時(shí)人的尊重，后來也依附于韋氏，將女兒嫁給韋皇后的表弟，甚至為死去的女兒與韋后的弟弟結(jié)冥婚。

依附太平
　　710年（景云元年），李隆基發(fā)動(dòng)唐隆政變，誅殺韋皇后。不久，相王李旦繼位，是為唐睿宗，蕭至忠被貶為晉州刺史。當(dāng)時(shí)，太平公主權(quán)傾朝野，蕭至忠便主動(dòng)投靠太平公主。太平公主認(rèn)為蕭至忠的兒子在唐隆政變中遇害，他一定會(huì)心存怨望，可以幫助自己，便把他召回京師，任命為刑部尚書、中書令，封酂國公。

　　對(duì)于蕭至忠依附太平公主的行為，很多人都進(jìn)行反對(duì)。蕭至忠的妹夫華州刺史蔣欽緒曾對(duì)他道：“憑您的才學(xué)，何必?fù)?dān)心日后不能飛黃騰達(dá)！最好不要作非分之想，鉆營求官?！笔捴林也宦牎ＪY欽緒嘆道：“蕭家九代卿族，至此一朝族滅，實(shí)在是可悲呀！”后來，蕭至忠從公主府中出來，恰巧遇到宋璟。宋璟道：“這不是我對(duì)您所期望的?！笔捴林矣樞Φ溃骸八紊f得很對(duì)！”說完便催馬離去。

政變伏誅
　　712年（先天元年），唐睿宗禪位于太子李隆基，是為唐玄宗。713年（開元元年），太平公主與蕭至忠、竇懷貞、岑羲、崔湜、薛稷等人密謀廢立，決定在七月四日發(fā)動(dòng)兵變，由常元楷、李慈率羽林軍闖入武德殿，蕭至忠則與竇懷貞、岑羲在南衙舉兵響應(yīng)。不料唐玄宗提前得知消息，搶先平息兵變。蕭至忠逃入南山，數(shù)日后被捕伏誅，家財(cái)也被抄沒。

　　蕭至忠雖因謀反被殺，唐玄宗對(duì)他仍很欣賞。后來，唐玄宗任命源乾曜為宰相，對(duì)高力士道：“你知道我為什么提拔源乾曜嗎？我覺得他很像蕭至忠?！备吡κ繂柕溃骸笆捴林也皇枪钾?fù)了陛下嗎？”唐玄宗道：“蕭至忠是治國之才，只是晚年做了錯(cuò)事而已，他起初不是非常賢能嗎？”